氦質譜檢漏儀吸嘴法
用于真空殘余氣體分析的質譜儀都可以用來檢漏（其示漏物質有氫、氦、氬等），但檢漏靈敏度各不相同。專門用來檢漏的質譜儀叫質譜檢漏儀。其特點是靈敏度高，性能穩定。特別是用氦做示漏氣體的氦質譜檢漏儀，是真空檢漏中靈敏度最高、用得最普遍的一種檢漏儀器。

圖5.6吸嘴法檢漏

  氦質譜檢漏儀的靈敏度，即最小可檢泄漏率，就是在儀器處于最佳工作條件下，以0.1MPa的1%的氦和99%的氮為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢出的最小漏孔的泄漏率。所謂“最佳工作條件”系指被檢件出氣很少，且沒有較大漏孔，同時儀器本身的參數是調整到最佳工作狀態等條件；所謂“動態檢漏”即指檢漏時不用累積法，檢漏儀本身的真空系統仍在正常抽氣，儀器的反應時間不大于3s（其中真空系統的時間常數不大于1s）等情況；所謂“最小可檢”是指信號是本底噪音的兩倍；所說的“泄漏率”系指0.1MPa的干燥空氣通過漏孔漏向真空端（壓力遠比0.1MPa低）的泄漏率。氦質譜檢漏儀吸嘴法的靈敏度約為10-9cm3/s。
 

響應時間  這種方法的響應時間約為2～3s，它主要包括兩個方面：一是檢漏器本身的響應時間；另一個是泄漏的氦氣被吸入到檢漏儀的響應時間。
各廠家生產的氦質譜檢漏儀本身的響應時間基本相同。檢測部分抽真空用真空泵的排氣速度對響應時間影響很大。排氣速度越小，氦氣就越容易積蓄在被檢件內，從而縮短響應時間。氦氣從泄漏點流到吸入孔需要一定的時間，通常為1s左右。
泄漏點的判斷  使用這種檢漏儀，吸嘴（探頭）要以2～5m/min的緩慢速度沿被檢件表面移動。若有泄漏，可以看到儀表指針擺動，也可以聽到振蕩器的聲音發生變化，由此可判斷出泄漏點或附近有泄漏。檢測時可使吸嘴離開可疑的地方，信號恢復到原始狀態。稍等一會（通常為2～5s）后，再將吸嘴靠近可疑的地方。重復上述操作幾次，就可以準確判斷出泄漏點，精度大約可達1mm。